無塵室(潔淨室)根據潔淨程度不同分很多等級。

  目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多,數字越小,潔無塵室工作站淨等級越高。

  無塵室(潔淨室)1000級的概念是:無塵室工作桌每立方英尺內,大於等於0。5的灰塵顆粒不能超過1000顆 ;

  無塵室(潔淨室)100級的概念是:每立方英尺內,大於等於0。3的灰塵顆粒不能超過100顆 ;

  注意了:每個等級所管控的顆粒大小也不一樣;

  依據美國聯邦政府頒布的標准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(潔淨室)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級;

  如果無塵室(潔淨室)的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0。5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0。2um(塵粒尺寸在0。2um或更大下,密不大於75顆/立方英尺),1級在0。1um(塵粒尺寸在0。1um或更大下,密度不大於35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔淨度必須優於1000級。

  聯邦規格無塵室等級

  現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格,BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格)。 其Fed。std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個0。5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0。5 以下時,表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。 在JIS標准下,無塵室清潔度,共分為8個等級 一般清潔度是指空氣的潔淨等級。在1立方公尺的空氣中,粒徑0。1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3,依次類推。

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